电子半导体

PFLUON PEEK可以取代金属,合并零件(一次成型)并简化结构。由PFLUON PEEK成型的零件
具有低收缩率和低吸湿性,可以满足这些应用中的高精密度要求。
PFLUON PEEK还可以复合加工为玻纤,碳纤,石墨, PTFE增加改性,特种耐磨规格或者备制为
导电,抗静电特性规格。
另外PFLUON PEEK有高纯度规格材料可以用于半导体行业,尤其是必须高温处理的场合更是如
此。它们在高温和低温条件下均具备尺寸稳定性,可确保表面清洁、无污染,且不受刺激性化学
品、各种溶剂的腐蚀。

PEEK电子半导体应用

半导体制程示意图

加工(Wafer Processing)
  • CMP环
  • 晶圆载具
氧化(Oxidation)
  • 环保持器
  • 垫圈
光刻(Photolithography)
  • 光罩
蚀刻(Etching)
  • 耐等离子部件
沉积(Deposition)
  • 沉积腔体内衬
互联(Metal Wiring)
  • 贴片耐磨设备部件
测试(Testing)
  • 测试插座
封装(Packaging)
  • 抗静电设备部件

PEEK 材料在电子半导体应用中的优势

优异的电性能
可以在短期内承受高达350度的温度, 长期使用温度可达260度
高耐磨
自熄性材料
高耐腐
尺寸稳定性(低蠕变性)

典型应用